一、定位與原理（差壓式，非熱式）

• 定位：超薄型差壓式 MFC（10mm 寬），半導(dǎo)體工藝主力，對應(yīng) MFM 為DZ?100M（無閥）。

• 原理：粘性層流差壓檢測 + 壓電閥閉環(huán)（繼承 D500 核心技術(shù)）。

• 層流元件產(chǎn)生差壓→直接換算質(zhì)量流量；

• 無熱式溫漂，低溫 / 高壓穩(wěn)定性更強(qiáng)；

• 32 位數(shù)字控制 + 高速壓電閥，≤0.4 秒響應(yīng)

二、核心參數(shù)（N?當(dāng)量，2026 最新規(guī)格）

1）尺寸

• 寬度 10mm、高度 99mm、深度約 40mm；

• 重量＜200g，單氣路安裝密度提升 3–5 倍。

2）流量范圍（DZ?107 新款最大 20 SLM）

• 標(biāo)準(zhǔn) DZ?100：0.1 sccm ～ 3 SLM；

• 新款 DZ?107（2024）：最大 20 SLM（10mm 超薄同級最大）；

• 小流量定制：0.025 sccm（ALD 專用）。

3）性能（高精度 + 快響應(yīng)）

• 精度：±0.5% S.P.（設(shè)定值）（全量程，行業(yè)頂尖）；

• 重復(fù)精度：≤±0.1% S.P.；

• 響應(yīng)時(shí)間：≤0.4 秒（T98），100ms 級可選；

• 動(dòng)態(tài)范圍：50:1～100:1（超寬，小流量穩(wěn)定）。

4）壓力與材質(zhì)（超潔凈 + 耐腐蝕）

• 入口壓力：0.2–0.5 MPa（表壓），耐壓 1 MPa；

• 壓力補(bǔ)償：無內(nèi)置（波動(dòng)大配 UR?Z700）；

• 材質(zhì)：SUS316L + 全金屬密封（無橡膠），Cl?/HF/NH?強(qiáng)腐蝕氣可用；

• 氦漏率：≤5×10?13 Pa·m3/s（超高真空）。

5）通信與電氣

• 型號：

• DZ?102：模擬 (0–5V/4–20mA)+RS?485；

• DZ?107：EtherCAT（主流，高速）；

• DZ?104：DeviceNet；

• 供電：24VDC（±10%），功耗＜5W。

6）兼容氣體

• 全兼容：N?、Ar、O?、H?、He、CF?、SF?、NH?、Cl?、HF、HCl 等